清潔度無塵室是顆粒物污染控制的基礎。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內的微粒物、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。 

清潔度無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使讓粒子的尺寸小于0.1微米，也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。

清潔度無塵室其主要的作用在于控制產品（如鋰電池等）所接觸的大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好的環(huán)境空間中生產、制造。由于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使電池芯片失效或可靠性降低。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造*的要素。